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          1. 硅片制程中Mark檢測

            項目簡述

            針對與硅片對比度極差的較淺鐳雕Mark點
            采用專用訂制波長UV光源,呈現極佳對比度
            環形光源,以及特殊訂制四邊可調光源
            配合高亮頻閃控制器,實現與相機精確同步

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